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ASML的「再利用計畫」使我們能夠更有效的提高產能，以滿足客戶強勁的需求。因為我們可以從庫存中獲取零件，亦可透過維修或回收取得零件，因此能在產線中製造更多產品，這有助於全公司加快實踐再利用的目標。
ASML透過以下七種方式，解決在技術面與物流面的挑戰，以提升重複再利用程度。
1. 把「再利用」帶入到設計中
發展永續循環經濟的一個重要因素為「為循環而設計」，意思是為新設計的零件預做規劃，使零件易於維修與升級。
利於循環的設計有兩大考量：模組化設計和通用性。我們的微影設備兩者兼備，模組化設計使我們能個別替換耗損的零組件，確保通用性則使我們能在多處使用同一種零件，無論是同一機台或不同型號機台皆然。
2. 節省運送包材
重覆利用不僅僅是用機台中的零件，它也適用於任何可能被丟棄的物品，包括運送產品時，為確保產品安全無虞而使用的各種材料（零件、工具和包材）。
我們的客戶將包材送回ASML，原本的包材供應商會再將之投入供應鏈，經過品質檢測，便可回收再利用。我們正在籌備標準化的回收網絡系統，使回收過程更為簡便、更有效率。這種標準化還可以通過減少運輸來降低再利用的有效二氧化碳足跡。
無論是機台安裝或搬遷，我們的目標是回收再利用80%以上的運輸包材。
拆解晶圓平台模組進行再利用
3. 在地化
客戶端的機台零件需要清潔、翻修或檢測時，將整座設備或模組送回ASML國外的工廠既昂貴又耗時。因此，我們建立在地維修中心(local repair center)，專門負責維修業務。在客戶端附近進行維修讓零件重複使用，可降低服務耗費的時間，更提升零件的周轉率。
我們的目標是在2025年之前於在當地維修10%的客戶端零件。此外，由於零件運輸距離較短，維修過程產生的溫室氣體排放量也會減少。
我們的維修中心與在地原物料供應商、特業維修廠商合作，打造在地維修生態系統。目前我們在荷蘭、美國、台灣、韓國與中國設有維修中心，並計畫於每個客戶所在地區都設置至少一座維修中心。
ASML已於2019年在林口工廠建立了全球維修中心，在此進行維修、翻新和驗證的全面流程。例如：透過電路板的維修和再利用，讓客戶廠內的微影系統的生命週期得以延續。2020年，林口中心維修了約100套電路板，2021年達到200套。到2022年，更完成1,000套的里程碑，使碳排放量大幅減少了約 11,000 噸。
此外，在 COVID-19疫情期間，ASML 的亞洲採購團隊與供應商 VDL ETG 蘇州合作，克服運輸挑戰的同時，也將永續放在優先考量地位。考慮到航空運輸的局限性，他們戰略性地將大型機械產品的運輸從空運轉向海運。經過徹底的評估和包裝重新設計，我們的三大主要產品現在可以透過海運無縫運輸，達到碳排放量大幅減少高達70%。這一轉變優化了貨櫃空間，也減少對環境的影響，並確保及時交付。
再利用的零件
4. 合作
我們的供應商在供應鏈與製造中扮演關鍵角色。因此，為了達成我們的再利用目標，需仰賴供應商的參與。
在供應商永續計畫中，我們要求供應商簽署意向書，承諾與ASML、生態系夥伴合作，盡可能擴大重複再利用比例。2022年共有59%供應商簽署承諾，我們希望在2025年之前能邀請80%供應商加入。
再利用的零件
5. 零件整新
如何為零件做好再利用的準備？每個機台的零件都需經制定的檢測流程，才能回復到等同新品(as-new)的狀態。
我們成功建立整新流程的零件之一為外部介面模組。該模組負責調節流入ASML深紫外光(DUV) TWINSCAN XT與NXT機台的氣體，由我們的供應商、荷蘭Aalberts Advanced Mechatronics旗下的Lamers所製造。我們與供應商合作，證明整新再使用的模組能達到等同新品的品質，而再利用這些模組能減少約200公斤廢棄物，省下4萬至5萬歐元的成本。
在台灣，我們ASML的林口工廠，已於2019年起，建立一座極紫光源收集模組的循環使用維修中心 (EUV Collector clean and qualification center)，也是為了貢獻在環境永續：免去模組運送到國外的運送成本，達到減去運送過程造成的碳排放量，預估一年可以降低一百五十萬公斤以上的碳排。
6. 品質標準化
使用翻新的零件時，我們的客戶預期該零件的品質等同新品。因此，我們要求所有整新零件達到全新品的品質標準，並預期供應商應用同樣標準。
實踐再利用也讓我們了解如何為客戶提供更優異的品質。為了實踐再利用，我們在零件維修與品質管控的過程中學到各個零件如何運作與老化情況。我們將這些知識應用且回饋於下一個設計中，進一步改善零件，提升未來機台的效能並延長機台的壽命。
7. 成長做好準備
目前許多重複再利用業務是由製造新模組的產線負責，然而，ASML微影設備投產量持續增加，為了因應再利用零件的需求成長，以及林口工廠內專責的維修再利用中心的成功案例，我們將把這樣的實際運作方式，在ASML世界各地的工廠同樣設立專責再利用的維修中心，專門負責工廠材料再利用。
台灣林口的維修中心已經開始運作，此時此刻，我們正在荷蘭費爾德霍芬(Veldhoven)籌建新的維修中心，也在美國康州威爾頓、加州聖地牙哥的製造廠附近籌建維修中心。
前述再利用作法能減少未來運往掩埋場和焚化爐的廢棄物，同時能省下大量支出。2022年ASML藉由零件再利用省下7億8100萬歐元，比2021年省下的6億8600萬歐元更多。
綜合以上作法，我們證明「再利用」確實能達成雙贏 : 不僅可提高廢棄物減量，為我們居住的地球打造共生共榮的優質環境，同時也對ASML的業務有益，有助提升產能與客戶服務效率。
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