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台積電熊本廠將啟動!日官員實地訪查晶圓廠,用水回收處理「一滴水可循環使用3.5次」

一滴水可循環用3.5次!日本「地下水之城」官員實地訪查讚嘆,揭台積電為何是環保優等生
撰文: 今周刊編輯團隊     分類:E永續環境     圖檔來源:達志 日期:2023-11-08

正在迎接台積電晶圓廠明年啟用的日本熊本縣,組成調查小組來到台灣。調查小組走訪台灣的竹科、中科,以及台積電中科15廠;調查結果出爐,對園區內的半導體廠環保表現按了讚。

這是一場嚴格考驗。因為,熊本被稱為「地下水之城」,縣內熊本市居民用水100%來自地下水。熊本縣居民與官員對工業汙染,更有源於歷史悲劇的深惡痛絕情緒。

聽過「水俣病」嗎?這是一種因為水銀中毒造成患者痙攣、神經錯亂、最終死亡的恐怖工業公害病。水俣病的命名,來自於1956年一種怪病首發於日本的「水俣市」,據稱當時至少造成4000位當地居民死亡。而水俣市的所在地,就在熊本縣內。

 

走過重大悲劇,熊本縣對工業汙染有著比其他地區更深層的戒慎恐懼。

 

回到熊本官員的台灣行,調查報告出爐顯示正面訊息,「即使採用(比台灣)更嚴格的日本標準,大多數項目都能達標。」貫穿文內、不時被熊本官員提及的這個關鍵句,宣布了台灣半導體業者「順利過關」;而在通過嚴格考驗的背後,更代表國內半導體廠對環保的重視,以及背後一群為護國群山解決問題的環保尖兵,儼然已是台灣半導體產業競爭力的重要一環。

 

當半導體廠對於「水」的環保意識提升,對提供解方的環保業者來說,就必須迎接一連串的高難度挑戰。

 

半導體化學設備供應商、跨入化學廢液回收領域多年的朋億總經理馬蔚表示:「以前的工業廢水,可能簡單分成5到6種排放,但現在為了環保或是回收,可能要分成數十種類別,使管線數量大增,材質也要更好。」



他進一步解釋,以前可能好幾種廢水混在一起,濃度中和後,對於管線材質要求沒有那麼高;但現在細分成數十種後,有些強酸或強鹼的濃度非常高,自然需要相對應材質的管線,都使成本上升。

 

再以台積電的廢水管線為例,公司曾在企業社會責任報告書提到,早期,廢水分類「只有酸鹼中和系統及混凝沉降系統」;到了2011年則揭露:「台積公司採取嚴格的前端廢水分類分流策略⋯⋯,目前廠房內之分流管最多高達20幾種。」再過10多年後,台積電2022年永續報告書中寫的,是已「建立38種分流系統」!

 

在「地下水之城」日本熊本縣,台積電更做出挑戰極度高標的回收水承諾。

 

台積電對本刊表示,「台積公司訂定2030年台灣廠區再生水替代率,達60%以上之目標⋯⋯。」公司指出,現階段各晶圓廠布建的用水回收處理設施,已做到「一滴水可循環使用3.5次」的成果。但,這些承諾與成果,在台積電將於熊本縣啟用的JASM(中文全稱為「日本先進半導體製造」公司)新廠身上,還要再往上跳。

 

台積電指出,位於日本熊本的JASM,「將『因地制宜』落實對環境的承諾。」因地制宜的承諾是什麼?台積電強調,JASM預計將有超過30種不同廢液處理程序,目前規畫之廠區用水回收率,為75%以上!」這個數字,比台積電訂定的2030年台灣廠區再生水替代率目標,還要高出15個百分點。

 

熊本縣環境政策課代表宮原薰,也是這次製作「台灣半導體環保過關」報告的負責人,她表示:「這次我們走訪的科學園區,都有確實遵守台灣環境法規。」一句話,等於對園區內的半導體廠環保表現按了個讚。

 

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