圖一:台灣積體電路製造股份有限公司十二廠六期
台積公司晶圓十二廠六期的主要節能創新包括:
1. 業界首創的節能設備「四季交響曲」:即冰水主機依季節需求用量提高供應溫度,突破過去冰水定溫控制的經驗鐵則,使其於最高效率的狀況下運作,依然穩定且最省,以達整體系統節能最佳化。
2. 導入不斷電電源系統節能模式,有效提高運轉效率。
3. 將製程廢氣處理回收水系統的熱能回收再利用,提供超純水系統離子交換樹脂再生升溫使用,降低能源消耗與電力損耗。
4. 將機台尾氣處理設備節能模式降溫,節省加熱器用電量及水洗用水量。
5. 將一般排氣系統回收再利用,並導入非無塵區域使用,大幅降低一般區域空調的負載量,減少冰水使用量。
6. 將外氣空調箱配載運轉最佳化,開啟備機分擔風量分攤,使每台變頻器平均轉速下降,減少風車耗電。
圖二:台積電公司空調節能改善-冰機隨季節外氣變化調整供應溫度(四季交響曲)
此外,台積公司亦持續推動各項節能措施,設定2025年單位產品用電量將較2015年降低30%的節能目標。長期以來,台積公司的節能措施以廠務系統節能為主,近兩年則加強推動製程設備節能。我們已開始與製程機台供應商展開合作,推動ISO50001耗能量測,進行生產行為的相關分析以提高能源效率,在新製程機台的研發階段即導入節能設計。
身為企業公民,台積公司以實際行動支持台灣發展再生能源。2015年6月,我們主動認購一億度綠色電力,約佔台電當年綠色電力認購釋出量的13%。因綠色電力在電力生產過程中不產生碳排放,因此這一億度綠色電力可減少碳排放量達5,200萬公斤,相當於520萬棵樹一年的碳吸收量。今年6月,我們又再度認購二億度綠色電力,佔台電今年綠色電力釋出量的20%,減少碳排放量超過一億公斤,約當1,000萬棵樹一年的碳吸收量,持續推動低碳的友善環境。
在氣候變遷衝擊全球生態環境以及人類的生活、健康與經濟之際,聯合國、各國政府、社會與企業界目前均高度關注此環境議題。台積公司認為,企業必然會受到氣候變遷的影響,也應擔負積極減緩的責任,因此由董事長核定,直接將因應氣候變遷納入公司重要的責任與策略;同時也密切注意氣候變遷的趨勢與國際應變方向,持續進行分析與管控,並在公司內部新成立跨組織的「碳管理平台」,針對全公司溫室氣體排放的法規限制、實質排放監控及減量與外部碳權經營做整合,以持續達到逐年緊縮的總排碳管制要求。
圖三:台灣積體電路製造股份有限公司十二廠六期_節能團隊
「提升社會」是台積公司企業社會責任的願景,「強化環保」則是台積公司企業社會責任的使命之一。台積公司在製程技術不斷精進的同時,也會以此精益求精的態度及對創新的堅持,用於追求節能減碳與環境永續,善盡企業的社會責任,讓社會更美好。