台積電表示,節水控制系統透過精準控制純水使用量,使機台節水 24%。截至今年 8 月,已成功導入晶圓十二 B 廠、晶圓十八 A 廠,預計明年全面導入國內 12 吋晶圓廠。
台積電指出,今年上半年全台水電供應嚴峻,因此積極尋找機台的節水省電機會點,發現晶圓傳送盒清洗機台因以直接式開關的水閥進行運轉,透過不間斷輸出熱水以確保水溫穩定,於未運作期間仍需持續供水。
為提高用水效率,台積電智能工程中心、晶圓十二 B 廠與供應商分析清洗機台的能耗及運轉參數,共同研發漸進式開關的水閥,依據機台使用狀態自動控制熱水輸出流量多寡,當機台未運作時,即以漸進方式減少供水,不僅有效省水,也能同時節電,預估每年可減少碳排放量約 7800 公噸,相當於 20 座大安森林公園一年的二氧化碳吸附量。
「節水控制系統」已列為台積電新建廠區晶圓傳送盒清洗機台的標準設施,為更擴大節能效益,台積電將進一步開發晶圓傳送盒清洗機台的「熱水回收循環系統」,預計第四季進行評估作業,持續朝機台節能最大化的目標努力。
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