比台積電早10年 引領同業全面跟進
聯電「氣體革命」 讓半導體業看到痛點解方
「大概是在2006年的時候，我們發現，這樣下去不是辦法，如果不改變，根本達不到原先承諾的目標。」聯電永續辦公室主任吳博文說。
所謂「承諾的目標」，與營收、盈餘、產能，或者聯電的晶圓代工製程技術都無關，「1997年《京都議定書》（Kyoto Protocol）簽訂，台灣半導體協會（TSIA）後續也就做出承諾，一○年整體協會會員的溫室氣體排放要比九七至九九年的平均減少一成。」
目標是有效減少溫室氣體排放，「但我們發現，只用原本的方法，不可能達標。」他解釋，原本的作法是「管末處理」，在排出氣體的前一刻，盡量把含溫室氣體的部分清除。然而，半導體製程需要使用大量的「全氟化合物」（PFCs），這玩意兒產生的溫室氣體，真的不是說處理，就能有效處理。
簡單解釋，根據經濟部工業局的資料，節電一度大概可減少0.53公斤的二氧化碳排放，但全氟化合物家族裡的許多化學氣體，每排出一公斤所造成的溫室效應，往往會相當於上萬公斤的二氧化碳排放。「九九年，聯電每年排放的溫室氣體，約略有七至八成是來自全氟化合物，其他只占兩成。」聯電風險管理暨安環處處長賴懷仁說。
核彈級影響、「怎麼處理都沒效果」的超級毒氣，就是半導體產業面對環境永續議題的天然障礙，也是聯電在比拚ESG時須克服的宿命。要改變宿命，只能改變造成悲情命運的源頭，於是，「○六年，我們正式成立專案，發動『第一次氣體革命』！」吳博文說。
革命專案負責人就由賴懷仁擔綱，因為在此之前，他已經花了將近六年時間在聯電內部溝通、協調、實驗，完成了革命前的所有準備。「早在九九年我們成立溫室氣體減量小組時，就在思考『改變源頭』的可能性。」
頭號戰犯是全氟化合物，而全氟化合物裡面也有頭號戰犯，「我們把各種氣體一字排開，發現須想辦法把這個東西換掉。」聯電發現全氟化合物的頭號戰犯，氣體名稱叫C2F6，不但在晶圓製程用量大，且根據資料，每排放這種氣體一公斤，所造成的溫室效應相當於排放一萬二千二百公斤的二氧化碳。
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