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廢液回收處理、產線再利用!朋億如何幫半導體業做環保,還能幫企業賺錢?

廢液回收處理、產線再利用!朋億如何幫半導體業做環保,還能幫企業賺錢?
撰文: 經理人/莊彙翌     分類:創新商模     圖檔來源:經理人/張鎧乙攝 日期:2022-12-23

半導體產業中,製造晶片的製程複雜多樣,不僅會耗費大量資源,也會產生大量廢棄物。若直接拋棄,對環境將造成傷害,因此要處理排放及回收的問題。然而,不同廠區會因為晶片的產品和製程不同,導致產生的廢棄物成分及含量不一,甚至根據國家或地區的規範差異,排放標準也會有不同規定,這些都讓企業難以降低廢棄物的處理成本。

1997 年成立的朋億,以提供半導體製程設備服務起家,發展出從供應系統到回收系統的一站式客製化服務。2021 年與工研院合作溶劑回收再利用系統,以及結合德國廠商的薄膜技術,開發油氣薄膜回收裝置,降低油罐車儲運、灌裝油品過程中逸散油氣的空污危害。朋億同年合併稅後淨利約 6 億,年成長 53%。

廢液經過回收、分離、精餾,混合後可重新回到產線上


「溶劑回收再利用,困難的點是在於要回到製程再使用。因為要做到跟原來的純度、還有不純物的含量要完全一樣。」馬蔚解釋,就像海水淡化或中水回收,最大的挑戰在於,這些海水與一般廢水要跟自來水成分相同;要將廢棄的化學品重新供應到製程上,有一定的技術門檻。


朋億主要做面板業的去光阻液回收,面板製程裡要塗布光阻劑,曝光後才能顯影,曝光完後,需要溶劑將上面的光阻劑去除掉。以前的方式是洗了以後,這些溶劑就要排放,運走或者燒掉處理。

 

朋億的設備是可以做到將這些溶劑去完光阻回收,以分段收集的方式區分不同成分的廢液,精餾出當中成分、分離出不純物質後,再經過混合系統,就像一般用汽油不光只是單一成分,還有其他成分,因此要將處理後的成分,經過混合系統,調和成與製程所使用的成分一致。這些重新調和好的溶劑,便可回到製程上,減少製程浪費之餘,也替客戶省下進料和回收成本。


客戶早期每一次都要再買新的溶劑,現在除了在製程中有 10~15% 的揮發損失,都不用再買新的,成本比以前減少 80% 以上。馬蔚表示,現今朋億提供的 15 台廢溶劑回收系統,回收後再利用的比率可達 9 成以上,每年約減少 300 萬噸碳排放。

 

「一開始大家的印象是,這是廢棄物處理。它不是,它是直接回生產線,有很大的效益。」馬蔚自信地說,當製程廢棄物可重新回產線利用,既是環保設施,也是生產設備,因為「它能幫企業賺錢。」

 

跟隨客戶開發設備、海外設廠,客製化與售後服務獲信賴


被問及最感到驕傲的是哪一項技術,馬蔚的答案有點意外:「好像沒有。」因為技術是與時俱進的,客戶也面臨很多挑戰,今天只要採用新的技術,廠商就要跟進,像是引入新的設備、新的化學品、新的氣體,或客戶希望做到 recycle(循環利用)、reclaim(重新使用)或 reuse(再利用)。朋億就會跟客戶一起去實驗開發客製化設備。

 

在朋億成立的當時,台灣半導體產業已初具規模,馬蔚說,大型客戶都已和很多實績的先進公司合作,朋億身為後進者,一開始沒辦法切入半導體主要廠商,只能把握每次機會,從新成立的半導體廠、建廠不是那麼頻繁的廠,慢慢參與。如今,不光是半導體業,朋億的客戶也包含面板及光電業。

 

早期有客戶要求在地支援(local support),為了回應客戶需求,朋億便在中國、新加坡設立分公司、建廠,提供包含代操作、教育訓練等售後服務,「UMC(聯電)去中國建廠,不光邀請一家廠商,最後取得機會,邀請我們去建廠。」馬蔚表示,朋億不會裝好系統就撤走,也會有售後服務,讓客戶看到我們的承諾。新加坡UMC第一個案子,跟後來的案子也隔了很多年,這就是對客戶的承諾。

 

 

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※本文授權自經理人,原文見此