台積電製程廢棄物,如何變中鋼最愛原料?
這些污泥來自半導體製程中部分工序結束後,須使用大量的清水去除化學藥劑,而過程中會產生有「蝕骨水」之稱的氫氟酸;因此須透過添加物質沉澱、脫水後成塊狀安全無害的氟化鈣污泥,再委外處理。
立盈環保科技董事長陳俊琦分享,過去主要交由水泥業處理或掩埋,但處理方式既昂貴又容易產生違規棄置的問題,對環境造成污染風險。2005年學術界已知曉用含氟物質製造出的螢石,可在煉鋼時幫助鐵水去渣。
這項記載於科學文獻中的理論,卻沒有公司能實際量產,陳俊琦透露困難點在於它的商業模式。
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半導體製程產生的「氟化鈣污泥」,經過多道工序處理後,成功「變廢為寶」,製成人造螢石。圖片來源:數位時代
僅40人的小公司立盈,在2013年成立之初就從困境中看到機會。「我們的使命是做到廢棄物100%再利用。」陳俊琦指出,立盈將氟化鈣污泥經過乾燥、加入凝結劑攪拌後,導入成型機製成人造螢石,純度可高達80%。這些螢石提供鋼鐵業用於煉鋼中的去渣劑,能替代過去依賴進口的天然螢石。
人造螢石從顆粒硬度到形狀設計,逐步滿足鋼鐵業高標準需求,再向產發署與環境部申請許可證,耗時3年多才完成。
「產品終於做出來,挑戰卻正要開始。」陳俊琦說,挑戰在於說服鋼鐵產業界,投入立盈廢料再利用製成的人造螢石。當時台灣煉鋼廠都使用中國出口的天然螢石,並不知道人造螢石的成效如何,「這麼大爐的鐵水,亂加東西下去,做不出來的話,一爐損失就是幾千萬元。」陳俊琦說。
收服鋼鐵、電子大咖,中鋼、台塑都愛它
為了成功說服中鋼使用人造螢石,陳俊琦特地去申請成分檢驗書,證明人造螢石安全無虞。「當作是為了解決台灣事業的廢棄物,一開始先投入少量的螢石約10、20公斤嘗試看看。」
因此,中鋼專門派一組技術團隊與立盈合作,對人造螢石進行試用後,發現除渣效果不僅出色,成本更只有天然螢石的3分之1,加上自2010年起中國對天然螢石出口的限制,價格隨之飆升,進一步推動鋼鐵廠對人造螢石的採用需求。目前中鋼、台塑越南鋼廠和燁聯鋼鐵都是立盈的客戶。
台積電的穩定供應功不可沒。陳俊琦回憶當初如何取得大量的氟化鈣污泥,「台積電在乎的是,廢棄物被收集後,到底有沒有真的賣掉,而不是堆在倉庫或亂倒。」他先找到客戶確定螢石有去處,再回頭跟台積電收取等量的污泥回收再利用。目前,台灣有4家人造螢石廠商,立盈市占率已超過一半。
台積電台中零廢製造中心的污泥儲存區與現場展出的處理完的螢石。孫嘉君攝
陳俊琦強調,全世界只有台灣有成熟完整的半導體聚落,能夠提供如此大量的氟化鈣污泥,並且穩定供應,立盈才能做出大量的人造螢石;這是其他生產據點無法達到的規模。
此外,立盈自2016年起也與聯電合作,並進駐2025年將啟用的南科循環經濟資源創生中心。聯電風險管理暨安環處資深處長賴懷仁向《數位時代》表示,立盈在創生中心未來每年可協助處理廠內約5,000公噸的氟化鈣污泥,除了大幅減少廢棄物委外處理量與成本,也避免不當處理風險。
衝刺循環經濟3.0,「沒做好準備掉單」
「循環經濟」的最高境界是將廢棄物再次做成原料。立盈不僅製造人造螢石,「我們的短期目標是循環經濟2.0,將廢棄物加工成可使用的氫氟酸;長期目標是循環經濟3.0,將氟化鈣污泥轉化回半導體製程可用的電子級氫氟酸。」陳俊琦透露。
如今,立盈每月處理約1,500噸的氟化鈣污泥,其中4成來自台積電,共產出750公噸的人造螢石。陳俊琦強調,科技大廠廢棄物處理量能跟不上國際腳步的話,會直接影響產業鏈的量能,沒有做好環境永續將隨時有掉單的危機。
原料與技術固然是循環經濟的重要基石,但真正決定成敗的,是商業模式是否能夠成功運行。立盈用行動證明了這一點。
立盈環保科技
董事長:陳俊琦
成立:2013年
預計興櫃:2025第2季
產品服務:半導體製程氟化鈣污泥處理、人造螢石銷售
產業地位:台灣人造螢石廠商市占第1
營收:2024年營收超過2億元
本文授權自數位時代,原文見此。